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ALPHAPLASMA AL76 Compact等離子清洗機
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    AL76 Compact等離子清洗機特點:


    改善Die Bonding

    改善Wire Bonding

    改善錫球焊接

    改善倒裝底部填充(FC Underfill)

    改善塑封(Molding)/封膠


    AL76 Compact等離子清洗機選項


    進口干泵系統(含相關附件)

    信號燈塔-紅黃綠三色

    額外的處理氣體線路-最多至4路氣體

    旋轉臺-φ350mm,旋轉速度可調

    ECR機構

    包裝,運輸



    AL76 Compact等離子清洗機規格


    等離子源

    2.45Ghz微波等離子源,1200W

    腔體

    鋁.長400mm,寬400mm,深490mm,76L

    外觀尺寸

    長1050mm,寬800mm,高2020mm(含信號燈塔)

    處理氣體

    3路氣體+數字MKS流量控制器

    真空腔門

    鉸鏈門/抽屜式雙功能+觀察窗

    觀察窗

    UV與微波屏蔽保護

    GUI 10.4"觸摸屏

    Window CE操作系統

    AL76 Compact等離子清洗機典型應用:


    等離子清洗中的全能型產品,可滿足大多數應用。適合大批量生產和實驗室使用。


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