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ALPHAPLASMA AL18等離子清洗機
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    ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18特點:


    改善Die Bonding

    改善Wire Bonding

    改善錫球焊接

    改善倒裝底部填充(FC Underfill)

    改善塑封(Molding)/封膠


    ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18選項


    進口干泵系統(含相關附件)

    信號燈塔-紅黃綠三色

    額外的處理氣體線路-最多至4路氣體

    旋轉臺-φ200mm,旋轉速度可調

    ECR機構

    包裝,運輸



    ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18規格


    等離子源

    2.45Ghz微波等離子源,600W

    腔體

    鋁.長250mm,寬250mm,深290mm,18L

    外觀尺寸

    長530mm,寬600mm,高550mm

    處理氣體

    1路氣體+數字MKS流量控制器

    真空腔門

    鉸鏈門+觀察窗

    觀察窗

    UV與微波屏蔽保護

    GUI 7"觸摸屏

    Window CE操作系統

    ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18典型應用:


    等離子清洗,適合于小體積產品,小批量生產和實驗室使用。


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